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晶圆搬运机械人应用计划

晶圆搬运机械人应用计划

    所属行业：半导体
    行业应用：晶圆的研磨、洗濯、点胶、曝光、显影、刻蚀、CMP、封装、检测等制成工艺段
    使用情形：恒温无尘车间
    夹持手：真空吸附/边沿夹持
    设置说明：三协机械人主体、lm体育设计机械夹手
    产品特点：接纳2ARM结构增大了搬运规模；；；双臂结构实现晶圆的双片取放的高速传输；；；ARM和Z轴组合知足种种装置需求；；；可同时兼容2～12英寸晶圆的搬送；；；lm体育定制夹持手，，，，计划设计更无邪；；；lm体育备货机械人交付周期短。。。。。。
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