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SR8241(尼得科-三协半导体晶圆搬运用机械人)

  • 大搬送规模的设计

  • 自力的双驱动系统实现2片同时取放

  • 紧凑的结构、很小的占有面积

  • 应对10mm的片间距

  • 和晶圆条约片间距的2片同取放

  • 低取片高度

  • 具有多功效和可盘旋的手臂

  • 3段链接ARM无行走轨道的设计、应对最大5台晶圆合平行排列

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