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SR8220(尼得科-三协半导体晶圆搬运用机械人)

  • 接纳2ARM结构增大了搬运规模

  • 实现了晶圆的高速传输和双片同取放

  • 确保了超高的直线精度

  • ARM和Z轴的种种组合以知足应对种种装置的需求

  • 可同时顺应于2~8英寸包括12英寸的晶圆搬送

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