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EFEM专用晶圆机械人-SR8220系列

宣布日期：2023-03-15泉源：东莞lm体育

EFEM是半导体装备的前端模浚浚�？�，，，，，，是毗连物料搬运系统和硅片处置惩罚系统的桥梁，，，，，，确保晶圆能在高清洁情形下传输到工艺、检测模浚浚�？�，，，，，，是半导体装备的主要配件。。EFEM模浚浚�？樽氨概浔复笃г舶嵩嘶等�，，，，，，装置在框架中，，，，，，框架配备有FFU（电扇过滤器单位）和装置在前面的装载端口。。lm体育提供的晶圆搬运机械人SR8220系列是EFEM模浚浚�？槟诘囊Σ考�。。

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EFEM系统外观图

lm体育-EFEM内部示意图.jpg

EFEM内部示意图

lm体育提供的大气晶圆搬运机械人SR8220系列包管晶片的快速、稳固搬运；；；；知足Class1的清洁品级；；；；可以实现差别品类Whole wafer、Frame wafer、Hoopring wafer的搬运。。

另外lm体育关于EFEM内部结构机械人还可以提供走行轴结构、手臂翻转结构、伯努利输运结构知足多种使用工况的要求。。

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2022年lm体育和日本电产三协告竣战略相助

SR8220产品特点

1、接纳2ARM结构增大了搬运规模

2、实现晶圆的高速传输和双片同取放

3、确保了超高的直线精度

4、 ARM和Z轴的种种组合以知足对应种种装置的需求

5、可同时适用于4-12英寸的晶圆搬送

lm体育晶圆搬运机械人SR8220走行轴系列.png

SR8220走行轴系列

lm体育晶圆搬运机械人SR8220翻转轴系列.png

SR8220翻转轴系列

行业案例

1、拥有专业的软件手艺团队，，，，，，提供高效的手艺效劳支持，，，，，，以及培训事情。。

2、SR8220系列晶圆机械人作为lm体育的标准产品，，，，，，我们储备库存，，，，，，缩短交付周期。。

3、专业的工程设计团队，，，，，，可以快速实现多样化的SR8220系列机械人升级刷新。。

4、手艺职员拥有十几年的晶圆机械人应用履历，，，，，，专业的售前指导事情，，，，，，为客户提供更优的手艺计划。。

本文作者·蒋江坤

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■ 半导体行业高级应用工程师

■ 从事智能装备制造业12年，，，，，，拥有富厚的直线电机和晶圆机械人行业应用履历，，，，，，可为客户提供智能控制和运动部件整体解决计划。。

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lm体育是一家专注于智能控制与运动部件的国家级高新手艺企业，，，，，，主导产品为直线电机、直线模组、DD马达、驱动器、编码器，，，，，，可提供工业运动控制一站式解决计划，，，，，，下游客户包括半导体装备、新能源装备、面板显示装备、医疗器械、3C等细密自动化行业的众多着名企业。。公司配备有先进的研发、生产装备及检测仪器，，，，，，通过了ISO9001、ISO45001、欧盟CE等系统认证，，，，，，拥有授权发明、适用新型、外观、软件著作权等70项专利。。

依附雄厚的手艺实力、过硬的产品质量、优质的客户效劳，，，，，，公司已成为直驱领域国产品牌中的领先者。。未来，，，，，，公司将继续秉持“让中国智能装备与天下同步，，，，，，为客户创立更多投资回报”的企业使命，，，，，，坚持市场需求引领、品牌效劳支持、立异手艺驱动，，，，，，一直开拓进取，，，，，，为我国智能制造装备行业添砖加瓦，，，，，，助力中国高端装备的深度国产化和智能化转型升级！

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